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阿特拉斯真空泵

机械增压泵

产品参数

ZRS系列机械增压泵基于罗茨原理,机械增压泵是压力范围为0.01至10 mbar需要大抽速的应用中最受欢迎的类型。一般需要配套一台前级泵使 用,前级泵可以预抽到增压泵的启动压力。机械增压泵运行压力相对较 低,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性工艺介质中,因此可靠性非 常高。


机械增压泵-001
机械增压泵参数
机械增压泵技术


产品优势


  • 适用于压力范围为0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr,需要抽速较大 的应用场合
  • 运行压力相对较低,可靠性极高
  • ZRS系列属于高品质、无油泵结构 (—噪音低、无振动运行 — 坚固耐用、耐腐蚀 —拥有先进的轴封技术,工艺腔无油污染)
  • 有效的轴封确保油不会进入泵腔,而且由于没有内部和外部旁通管路 和阀这些可能会被腐蚀的部件,因此将维护需求降至最低。
  • 对轴封的设计进行了优化,以确保润滑剂不会迁移到泵腔,使泵在洁 净度要求极高的环境下发挥增压泵的性能。此外,还可以防止在公差 非常严格的转子凸角和端面上聚集微尘颗粒。
  • 动平衡的转子及精密研磨齿轮使泵的运行平稳、静音,以满足先进技 术设备制造商的要求。

应用

  • 真空包装
  • 干燥及脱气
  • 真空冶金
  • 真空蒸馏
  • 薄膜涂层
  • 低密度风洞
  • 空间模拟
  • 真空浸渍
  • 冷冻干燥



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